压电微/纳定位系统

• 快速控制反射镜（FSM）
• 微/纳位移快速扫描平台
• 压电驱动电源和数字控制器
• 扫描凝视成像系统
• 光束指向镜系统

音圈微/纳定位系统

• 音圈快反镜（FSM）
• 音圈位移平台
• 音圈驱动电源和数字控制器

光学振镜系统

• 激光振镜、谐振镜
• 双轴光学振镜

微纳传感器系统

• 电容微位移传感器
• 电容角度传感器
• 加速度传感器

其他产品

• 红外捕获装置
• 激光充电装置
• 微流控器件及系统
• 自适应变形镜
• 微纳装配机器人